Getting

Gettering  är processen att binda till neutrala associationer av rörliga, oönskade föroreningar och defekter vid gränssnitten som bildas av den yttre ytan av kristaller eller ytan av gränserna för utfällningar [1] .

Getteringsprocessen uppstår på grund av följande fysiska effekter:

• frigöring av föroreningar eller sönderdelning av utökade defekter till mindre komponenter;
• diffusion av föroreningar eller komponenter av dislokationer;
• absorption av föroreningar eller inneboende interstitiella atomer av någon sänka;

Det finns tre huvudmekanismer för att få föroreningar:

1. Bildning av jonpar . När ett prov är dopat med fosfor, fördelas vissa föroreningar, såsom koppar , på ett sådant sätt att fördelningsprofilen får en form som ligger nära den för föroreningsfosfor . Som ett resultat bildas neutrala par av formen Cu + P - .
2. Gettering med trasiga lager .
3. Intern gettering. Oftast manifesteras vid jondoping . Effekten av kiseloxidfällningar på dislokationer leder till att de senare börjar attrahera föroreningar av tungmetaller och på så sätt befria ytan från föroreningar.

Anteckningar

1. ↑ Förberedande operationer. Getting . MEPhI. Hämtad 1 mars 2022. Arkiverad från originalet 1 mars 2022. (ryska)