Plasmakällor

Plasmakällor är enheter utformade för att skapa plasma . Skapandet av plasma kräver åtminstone partiell jonisering av neutrala atomer och/eller molekyler i mediet. Inom tekniken används som regel vissa typer av gasurladdning för att skapa plasma .

Högtrycksplasmakällor (från 1000 Pa till atmosfäriskt och, sällan, högre) tryck kallas plasmabrännare eller plasmabrännare. I dem bildas som regel plasma i en speciell urladdningskammare, genom vilken den plasmabildande gasen blåses. Den mest använda ljusbågen eller induktionsurladdningen . För små effekter (upp till flera kW) är mikrovågsplasmabrännare också vanliga .

Plasmakällor för låga tryck har inte ett gemensamt namn och klassificeras enligt funktionsprincipen:

• Båge:
  • kall katod ;
  • med uppvärmd katod ;
  • tvåstegs;
• Baserad på en strålplasmaurladdning , särskilt med en ihålig katod ;
• Induktivt kopplad :
  • med spole i form av en solenoid ;
  • med en platt spole;
  • baserat på helikonurladdning
• Kapacitivt kopplad
• Baserat på mikrovågsurladdning , inklusive användning av:
  • elektroncyklotronresonans ;
  • urladdning på en ytvåg ;
• Baserat på utsläpp i korsade fält:
  • Halls källor;
  • källor med ett anodskikt.

Plasmakällor har många tillämpningar, särskilt ljuskällor och plasmabearbetning av material.

Se även

• Plasmatron
• jonkälla
• Plasmabehandling

Litteratur

• Popov OA Högdensitetsplasmakällor: Design, fysik och prestanda. - Mill Road, Park Ridge, New Jersey, USA: Noyes Publications, 1995.
• Gabovich MD Plasmakällor för joner. - Kiev: Naukova Dumka, 1964. - 224 sid.

• Zhukov M.F. Elbågsgasvärmare (plasmatroner). - M. : Nauka, 1973. - 232 sid.

• Barchenko V.T. Teknologiska vakuum-båge plasmakällor. - St Petersburg. : Publishing House of St. Petersburg Electrotechnical University "LETI", 2013. - 242 sid. — ISBN 978-5-7629-1366-9 .

• Aksenov II Vakuumbåge: plasmakällor, beläggningsavsättning, ytmodifiering. - Kiev: Naukova Dumka, 2012. - 727 sid.

• Popov VF, Gorin Yu. N. Processer och installationer av elektronjonteknologi. - M . : Högre. skola, 1988. - 255 sid. — ISBN 5-06-001480-0 .

• Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Vakuumprocesser och utrustning för jon- och elektronstråleteknik. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 sid. - ISBN 5-217-00726-5 .