Akustiska ytvågssensorer tillhör klassen av mikroelektromekaniska system ( MEMS ), som är baserade på modulering av akustiska ytvågor när de interagerar med ett material placerat nära sensorns yta. Sensorn omvandlar den ingående elektriska signalen till mekaniska vågor som interagerar med materialet. Enheten omvandlar sedan denna våg tillbaka till en elektrisk signal. Förändringar i amplitud, fas, frekvens mellan elektriska in- och utsignaler kan användas för att bestämma materialegenskaper.
SAW-sensorn består av ett piezoelektriskt substrat, en interdigital givare (IDT) på ena sidan av ytan i kontakt med testmaterialet och en andra IDT på andra sidan av substratet. Utrymmet mellan IDT:erna, genom vilket den akustiska ytvågen kommer att fortplanta sig, kallas fördröjningslinjen, eftersom signalen, som är en mekanisk våg i detta område, rör sig mycket långsammare än dess elektromagnetiska del, vilket orsakar märkbara förseningar.