En mikrosond är en anordning för att utföra röntgenspektralmikroanalys (bestämmer atomsammansättningen av ett ämne i en liten volym).
Funktionsprincipen för mikrosonden är som följer: en elektronstråle genereras , som samlas upp av elektromagnetiska linser i en smal stråle - en elektronsond. När de kommer in i provet slår elektronerna ut elektroner från skalen på ämnets atomer och genererar karakteristisk röntgenstrålning . Varje element utstrålar vid sin karakteristiska uppsättning frekvenser och kan identifieras av det. Grundämneskoncentrationerna bestäms utifrån strålningsintensiteten.
För närvarande är mikrosonden vanligtvis en variant av svepelektronmikroskopet som är optimerat för röntgenspektralanalys. Därför kan de flesta mikrosonder också utföra funktionerna hos ett elektronmikroskop.
För att utföra kvantitativ mikrosondanalys måste provytan poleras och rengöras. oegentligheter leder till atypisk spridning av röntgenstrålar och betydande fel vid bestämning av koncentrationen av element. För att förhindra ackumulering av laddning på ytan av det dielektriska provet, avsätts en tunn ledande film, vanligtvis kol , på den .