Savin, Viktor Vasilievich
| Viktor Vasilievich Savin | |
|---|---|
| Födelsedatum | 31 maj 1927 |
| Dödsdatum | 3 juli 1978 (51 år) |
| Ockupation | Direktör för NIITM och Elions anläggning |
| Utmärkelser och priser |
|
Viktor Vasilyevich Savin (1927-1978) - Direktör för Research Institute of Technology och Elion-anläggningen (1965-1978), pristagare av Lenin-priset (1974).
Född den 31 maj 1927.
Sedan 1964 och. handla om. direktör, från januari 1965 chef för forskningsinstitutet för precisionsteknik (NIITM) och Elion-fabriken (Zelenograd).
Under hans ledarskap skapade:
- vakuumsprutningsinstallationer baserade på grundmodellen UVN-70A-1, en elektronstråleinstallation ELUM-1 för produktion av hybrid-IC, installationer för att växa epitaxiella skikt, en laserinstallation för bearbetning av mikroelektroniska produkter (1966-1967).
- en uppsättning utrustning "Korund-S" för massproduktion av ICs på kiselskivor med en diameter på 40 och 60 mm (1968).
- flerpositions, multi-reaktor vakuum-sprayutrustning för IC-produktion (1969).
- utrustning för tillverkning av IC på wafers med en diameter på 76 mm (1970).
- vakuumsprutningsanläggningar med elektronstråle- och jonsystem (1971).
- uppsättningar av utrustning för massproduktion av IC (1972-1974).
- högpresterande vakuumsprutningsinstallationer för semi- och kontinuerlig drift, automatiserade produktionslinjer för fysiska och termiska operationer, uppsättningar av plasmakemisk utrustning (1975-1977).
Kandidat för tekniska vetenskaper.
Död 1978-03-07. Han begravdes på stadens kyrkogård i Zelenograd.
1974 , för sitt bidrag till organisationen av det vetenskapliga centret för mikroelektronik, bildandet och utvecklingen av vetenskap och industri i Zelenograd, tilldelades han Leninpriset som en del av ett team ( K. A. Valiev , G. Ya. Guskov , L. N. Livintsev , A. Yu. Malinin ) [1] .