Plasmabehandling

Plasmabearbetning är processen att bearbeta material med lågtemperaturplasma som genereras av båge eller högfrekventa plasmabrännare för att ändra formen, storleken, strukturen på materialet som bearbetas eller tillståndet på dess ytskikt. Varianter av plasmabearbetning är: separering och ytskärning, beläggning, sprutning, svetsning [1] .

Underarter av plasmabehandling är:

• Plasmaaktivering ;
• Plasma-immersion jonimplantation
• Plasmamodifiering ;
• Plasmaetsning ;
• Plasmasprutning ;
• Plasmasvetsning ;
• Plasmaskärning ;
• Plasmapolymerisation ;
• Plasmafunktionalisering ;
• Plasma-kemisk ångavsättning ;
• Efterbehandling av plasmahärdning .

Galleri

• Plasmaskärning

• Göra hål med plasma (plasmaborrning)

• Plasmasprutning i vakuum

• Schemat för att etablera plasmasprutning: 1 - Katod . 2 - Tillförsel av pulvermaterial. 3 - Delar av pulvret. 4 - Smälta delar av pulvret. 5 - Spraya föremål. 6 - Foder. 7 - Plasmabildande gas. 8 - Anod . 9 - Plasmabåge. 10 - Plasmastråle med pulverpartiklar.

• Schema för installation av plasmasvetsning: 1 - Plasmabildande gas. 2 - Skyddsmunstycke. 3 - Jet. 4 - Elektrod. 5 - Avsmalnande munstycke. 6 - Elbåge.

• Plasma ytbehandlingsutrustning (rengöring)

Anteckningar

1. ↑ Kovshov A.N. Ingenjörsteknologi. - M., Mashinostroenie, 1987. - sid. 290

Litteratur

• • Sosnin N. A., Ermakov S. A., Topolyansky P. A.  Plasmateknologier. Guide för ingenjörer. Polytechnic Universitys förlag. St Petersburg: 2013. - 406 sid.
  • Ivanovsky G. F. , Petrov V. I. Bearbetning av jonplasma av material. - M . : Radio och kommunikation, 1986.
  • D. Tolliver, R. Nowitzki, D. Hess och andra; Ed. N. Einspruck, D. Brown. Plasmateknik vid produktion av VLSI. — M .: Mir, 1987. — 469 sid.
  • Danilin BS, Kireev V. Yu. Applicering av lågtemperaturplasma för etsning och rengöring av material. - M. : Energoatomizdat, 1987. - 263 sid.
  • Danilin B.S. Användningen av lågtemperaturplasma för avsättning av tunna filmer. — M .: Energoatomizdat, 1989. — 328 sid.
  • Popov VF, Gorin Yu. N. Processer och installationer av elektronjonteknologi. - M . : Högre. skola, 1988. - 255 sid. — ISBN 5-06-001480-0 .
  • Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Vakuumprocesser och utrustning för jon- och elektronstråleteknik. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 sid. - ISBN 5-217-00726-5 .