Energispridande röntgenspektroskopi ( EDX , EDRS eller EDS ) är en analytisk metod för elementaranalys av ett fast ämne, baserad på analysen av emissionsenergin från dess röntgenspektrum, en variant av röntgenspektralanalys .
Med hjälp av en elektronstråle (i elektronmikroskop) eller röntgenstrålar (i röntgenfluorescensanalysatorer) exciteras atomerna i provet som studeras och avger röntgenstrålning som är karakteristisk för varje kemiskt element . Genom att studera energispektrumet för sådan strålning kan man dra slutsatser om provets kvalitativa och kvantitativa sammansättning.
Metoden för energidispersiv röntgenspektroskopi kan användas i studien av föremål i ett svepelektronmikroskop eller ett transmissionselektronmikroskop , där föremålet undersöks med en fokuserad högenergielektronstråle.
Ett högt vakuum (10 −7 mbar ) skapas i mikroskopkammaren för att minimera interaktionen mellan elektroner och luftmolekyler. Röntgendetektorn kräver kylning, vilket vanligtvis tillhandahålls av antingen ett flytande kväve dewar eller en enhet baserad på Peltier-effekten .
Under driften av ett elektronmikroskop lämnar en elektronstråle en källa - en elektronkanon - och accelereras av en hög spänning. När man träffar ett föremål sprids en del av elektronerna beroende på elementets serienummer och dess miljö i kristallstrukturen, en del exciterar atomerna i föremålets substans, vilket orsakar utsläpp av karakteristisk strålning. Genom att analysera energispektrumet för den emitterade röntgenstrålningen , som härrör från interaktionen mellan en elektronstråle och atomer i ett objekt, med hjälp av en detektor ( Si- kristaller med Li -föroreningar ) i ett elektronmikroskop, studeras dess sammansättning också.
Analysen av individuella maxima för röntgenspektrumet efter deras läge (våglängden för ett emissionsmaximum för ett visst element) och intensitet utförs också i den relaterade metoden för våglängdsdispersiv röntgenspektroskopi (WDS), som har en storleksordning högre känslighet och spektral separationskraft, men mindre snabb.