Profilometry ( eng. profilometry ) - processen att mäta ("ta bort") profilen för en ytsektion i ett plan vinkelrätt mot den och orienterad i en given riktning.
En grafisk representation av en profil tagen under profilometri kallas ett profilogram. Den information som erhålls under bearbetningen av profilogram används för att beräkna standardparametrar och möjliggör en kvalitativ och kvantitativ bedömning av de ytor som studeras . En uppsättning profilogram, tagna med ett visst steg och sekventiellt arrangerade i ett tredimensionellt koordinatsystem, ger en visuell representation av yttopografin.
Registrering av profilogram, såväl som att erhålla en tredimensionell bild av ytorna på solida kroppar, kan utföras med anordningar av kontakttyp eller icke-kontakttyp. Enheter som är designade för detta kallas profilometrar eller profilografer. I anordningar av kontakttyp utförs profilkopiering genom att flytta nålen längs en grov yta som ska undersökas . Beröringsfria enheter inkluderar optiska och svepelektronmikroskop , såväl som enheter som använder monokromatisk (i synnerhet laser ) strålning för att skanna ytan.