Energifiltrerad transmissionselektronmikroskopi ( EFTEM ) är en teknik inom transmissionselektronmikroskopi där elektroner med ett givet intervall av kinetiska energier används för att bilda en bild eller ett diffraktionsmönster . Tekniken kan användas för att studera den kemiska sammansättningen i samband med komplementära tekniker som elektronkristallografi.
När ett mycket tunt prov belyses av en stråle av högenergielektroner kommer de flesta av dem att passera genom provet utan hinder, men vissa kommer att interagera med det, elastiskt eller oelastiskt ( fononspridning , plasmonspridning eller jonisering av inre nivåer) genom spridning. Oelastisk spridning leder till en förlust av elektronenergi, såväl som till en förändring i dess rörelsemängd, vilket, i fallet med jonisering av inre nivåer, är karakteristiskt för elementet i provet.
Tilldelningen av ett visst karakteristiskt energiområde gör att du kan få en bild av endast ett givet kemiskt element.