Vakuumventiler är rörledningsventiler som säkerställer prestanda för sina funktioner vid drift absoluta tryck på mindre än 0,1 MPa (1,0 kgf / cm² ) [1] . Det inkluderar extra, vanligtvis typiska enheter för vakuumsystem , inklusive: [2]
Vakuumkopplingar kräver en mycket hög täthet av alla dess delar och anslutningar och en mycket liten separation av gas från dess väggar och tätningar . Skarvarna på lågvakuumbeslagen är förseglade med vakuumgummipackningar, de rörliga stängerna är förseglade med packboxar av en speciell design. I höga och ultrahöga vakuumsystem används bälgar vanligtvis för att flytta stavar ; packningar för ultrahögvakuumkopplingar är gjorda av speciella kvaliteter av värmebeständigt gummi, vissa typer av plaster och sega metaller [2] .
Drivningen av vakuumventiler och luckor kan vara manuell (beteckningar respektive KSVR, ZSVR), elektropneumatisk (KSVP, ZSVP), elektromagnetisk (KSVM) [3] .
Den teoretiska (i molekylärt läge) konduktiviteten U , l / s , för luft ( M = 28,8, T = 300 K ) är: [3]
Gasflöden i viskösa och molekylära viskositetsregimer kan beräknas baserat på teorin om likhet ; för geometriskt liknande system beror konduktiviteten på tvärsnittsarean, förhållandet mellan den effektiva längden och diametern, gasens adiabatiska index , Kn -talet och, i mindre utsträckning, på Re- och M -talen [4 ] .